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產(chǎn)品名稱(chēng):清洗機 |
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HW-CS108-F/112-F
設備規格:8inch/12inch
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.外觀(guān)簡(jiǎn)潔大方,整機采用PLC控制,易于操作,性能穩定;
2.功能:通過(guò)噴灑出微小且高壓力的純凈水將切割后的晶圓清洗干凈。
3.通過(guò)更換臺盤(pán)能適應標準6”,8”,12”框架(Frame);
4.噴頭噴灑范圍可自動(dòng)根據設定的晶圓大小調節,無(wú)需人工干預;
5.可以根據客戶(hù)工藝不同,來(lái)編制不同程序控制。
6.具有“緊急停止”功能;
7.具有系統運行狀態(tài)監控和設備故障報警功能;
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